11月4日恒邁光學精密機械（杭州）有限公司在杭州組織召開了1米大口徑應力檢測儀的出廠驗收評審，有來自北京人工晶體總院有限公司、中物院8所、菲利華石英玻璃有限公司、中國建筑材料科學研究總院、神光石英有限公司、上海光機所等單位的多名專家參加了驗收評審。大家一致認為該臺應力儀指標全部滿足合同指標要求，可以達到國外同等水平。
應力儀主機
應力儀測量結(jié)果
應力儀測試界面
該應力儀主機是基于偏振光測量原理進行設計開發(fā)的，設備自主可控率可以達100%。設備測試精度優(yōu)于0.1nm/cm、單口徑測量時間小于2s、可自動以文件形式存儲測量結(jié)果并將測量結(jié)果以二維圖像顯示。實際元件的測量口徑可以通過數(shù)字化拼接進行擴大，最大可以滿足2米及以上元件的測量需求。該設備的研制成功可以進一步打破我國在該類儀器領域面臨的進口受限的局面。
公司介紹
恒邁光學精密機械（杭州）有限公司成立于2020年01月，注冊資金壹仟壹佰貳拾萬元，坐落于富春江畔的浙江省杭州市富陽區(qū)，是杭州光學精密機械研究所重點孵化的高科技創(chuàng)新型企業(yè)，公司核心創(chuàng)始人和技術團隊由多名具有國外留學經(jīng)歷博士、博士后以及具有光學和半導體領域資深背景的專業(yè)人士組成。研發(fā)人員碩士以上學歷比例達到80%，公司有近2000平方米的百級、千級潔凈等級的關鍵技術實驗室與總成車間。檢測設備齊全，具有較強的硬件支撐能力，公司專注于超精密光學加工裝備、半導體CMP拋光裝備以及精密檢測儀器的設計研制與開發(fā)，公司擁有多項自主知識產(chǎn)權的高動態(tài)、高剛度和高效能的機床設計技術、加工過程“實時原位”檢測技術和基于“穩(wěn)、準、精”的先進光學測量技術，加工設備與檢測儀器雙引擎驅(qū)動、雙劍合璧。
產(chǎn)品中心
光學精密加工裝備（智能環(huán)型拋光機、機器人拋光機、離子束拋光機）
半導體加工裝備（晶圓CMP、掩模基板拋光機等）
精密檢測儀器（波長移相激光干涉儀、數(shù)字應力儀等）
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