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慕尼黑上海光博會
恒邁光學精密機械（杭州）有限公司
展位號：W4.4530
2024年3月20日—3月22日
上海新國際博覽中心
慕尼黑上海光博會于2024年3月20-22日在上海新國際博覽中心舉辦。展會將吸引來自汽車、工業(yè)、通訊電子、醫(yī)療電子、消費電子、工業(yè)電子、新能源、軌道交通等應用領域的專業(yè)觀眾前來參觀。不僅僅滿足于展示單一設備產(chǎn)品，而是為行業(yè)打造從材料、設備到應用技術解決方案的橫跨產(chǎn)業(yè)上下游的專業(yè)展示平臺，一站式、完整、高效地掌握智能制造與電子創(chuàng)新全產(chǎn)業(yè)鏈上的全球前沿技術與產(chǎn)品。
恒邁光學精密機械（杭州）有限公司是杭州光學精密機械研究所重點孵化的高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司專注于超精密光學加工裝備、半導體CMP拋光裝備以及精密檢測儀器的設計研制與開發(fā)，公司擁有多項自主知識產(chǎn)權(quán)的高動態(tài)、高剛度和高效能的機床設計技術、加工過程“實時原位”檢測技術和基于“穩(wěn)、準、精”的先進光學測量技術，加工設備與檢測儀器雙引擎驅(qū)動、雙劍合璧。 屆時，恒邁光學將以全新的面貌，歡迎大家光臨！
參展產(chǎn)品搶先看
臺式研拋一體機
基于工業(yè)機器人的小工具在元件表面高速旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實現(xiàn)光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
化學機械拋光設備
基于晶圓的拋光設備，利用柔性拋光頭承載晶圓在拋光墊上旋轉(zhuǎn)拋光。設備具有高度兼容性，可以通過修改RECIPE變更加壓壓力。可通過最多3種化學液的配合下實現(xiàn)化學機械拋光。
數(shù)字化應力檢測儀
大口徑樣品全口徑自動自動測量，通過電腦處理，采用各種顏色顯示樣品通光面應力分布狀態(tài)；自動以文件形式儲存測量結(jié)果、存儲時間、日期、方法、樣品名稱、厚度、測量值、測量單位和結(jié)果圖像。
大口徑波長移相激光干涉儀
采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達0.06um甚至更高，廣泛用于大小口徑平面光學元件高精度檢測。
4英寸激光干涉儀
激光干涉儀采用相移技術準確表征被測表面的三維形貌，測量精度高達0.06um甚至更高，廣泛用于平面光學元件高精度檢測。
