機(jī)器人研拋一體機(jī)

機(jī)器人研拋一體機(jī)

       設(shè)備由單臺(tái)或多臺(tái)機(jī)器人、力控系統(tǒng)、轉(zhuǎn)臺(tái)、拋光液循環(huán)及軟件控制系統(tǒng)組成,具備單臺(tái)或多臺(tái)機(jī)器人協(xié)同加工功能,可按任務(wù)分區(qū)域加工(通過(guò)駐留時(shí)間控制材料去除量),也可雙螺旋遍歷加工(轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)、兩個(gè)機(jī)器人同時(shí)在半徑方向運(yùn)動(dòng),通過(guò)拋光輪轉(zhuǎn)速控制材料去除量)。

       設(shè)備配置高精度力控模塊,本體為閉環(huán)或半閉環(huán)控制的精密氣缸,能夠精確控制輸出力;具有行程、傾角、輸出力等信息的采集與顯示功能;具有重力補(bǔ)償和角度補(bǔ)償功能,能夠消除由于工具重量和傾斜角度變化引起的輸出力的變化;

       設(shè)備根據(jù)工件大小配置轉(zhuǎn)臺(tái),轉(zhuǎn)速可調(diào);工件臺(tái)周圍有光學(xué)
元件對(duì)心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
;工件臺(tái)面具有回流槽;回流槽具有坡度可使
拋光液快速回流
;拋光液從工件臺(tái)圓周回流

        設(shè)備同時(shí)配置有拋光液循環(huán)系統(tǒng),每臺(tái)機(jī)器人配備兩套拋
光液循環(huán)系統(tǒng),使用不同拋光液材料;兩套系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行,可
實(shí)現(xiàn)手動(dòng)與自動(dòng)切換;拋光液流量可調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)好后流速穩(wěn)定;
儲(chǔ)液罐具有攪拌功能,使拋光液濃度保持穩(wěn)定;具有粗濾和精
濾兩級(jí)過(guò)濾,濾芯可定期更換;拋光液儲(chǔ)液罐低液位報(bào)警功能;

        設(shè)備配備小磨頭及輪式拋光頭;


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       設(shè)備由單臺(tái)或多臺(tái)機(jī)器人、力控系統(tǒng)、轉(zhuǎn)臺(tái)、拋光液循環(huán)及軟件控制系統(tǒng)組成,具備單臺(tái)或多臺(tái)機(jī)器人協(xié)同加工功能,可按任務(wù)分區(qū)域加工(通過(guò)駐留時(shí)間控制材料去除量),也可雙螺旋遍歷加工(轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)、兩個(gè)機(jī)器人同時(shí)在半徑方向運(yùn)動(dòng),通過(guò)拋光輪轉(zhuǎn)速控制材料去除量)。

       設(shè)備配置高精度力控模塊,本體為閉環(huán)或半閉環(huán)控制的精密氣缸,能夠精確控制輸出力;具有行程、傾角、輸出力等信息的采集與顯示功能;具有重力補(bǔ)償和角度補(bǔ)償功能,能夠消除由于工具重量和傾斜角度變化引起的輸出力的變化;

       設(shè)備根據(jù)工件大小配置轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)速可調(diào);工件臺(tái)周圍有光學(xué)
元件對(duì)心調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)
;工件臺(tái)面具有回流槽回流槽具有坡度可使
拋光液快速回流
;拋光液從工件臺(tái)圓周回流

        設(shè)備同時(shí)配置有拋光液循環(huán)系統(tǒng),每臺(tái)機(jī)器人配備兩套拋
光液循環(huán)系統(tǒng),使用不同拋光液材料;兩套系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行,可
實(shí)現(xiàn)手動(dòng)與自動(dòng)切換;拋光液流量可調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)好后流速穩(wěn)定;
儲(chǔ)液罐具有攪拌功能,使拋光液濃度保持穩(wěn)定;具有粗濾和精
濾兩級(jí)過(guò)濾,濾芯可定期更換;拋光液儲(chǔ)液罐低液位報(bào)警功能;

        設(shè)備配備小磨頭及輪式拋光頭;


優(yōu)勢(shì)
1、基于工業(yè)機(jī)器人專用控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設(shè)計(jì),精確控制加工過(guò)程去除函數(shù)。
3、根據(jù)加工要求,開(kāi)放式全鏈路加工工藝軟件開(kāi)發(fā)。
4、根據(jù)客戶要求定制開(kāi)發(fā)


主要技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目
參數(shù)指標(biāo)
可加工元件材料
熔石英、K9、微晶等光學(xué)元件;合金鋁等金屬元件
可加工元件最大尺寸

φ1000mm

機(jī)器人本體六軸串聯(lián)工業(yè)機(jī)器人本體,IP67防護(hù)
力控模塊
力控精度:≤±0.5N;行程:0~22mm
負(fù)載能力150kg
臂展3.2m
重復(fù)定位精度±0.05mm
轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)速 0.1-5rpm之間可調(diào)
加工精度

RMS≤0.01λ@633nm(石英、微晶玻璃、碳化硅、藍(lán)寶石)

去除函數(shù)峰值去除率

≥200nm/s(石英、微晶玻璃、碳化硅、藍(lán)寶石

去除函數(shù)峰
≥90%
低頻面形誤差單次收斂率

≥90%

雙機(jī)器人同步精度

≤0.5mm

工裝、夾具、拋光工具提供工裝、夾具、拋光工具
底座與圍欄提供底座與圍欄(配置安全鎖)
面積需求
5m×5m×3m
溫度要求
22±0.5℃
濕度要求
40%-80% RH




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